涂布層四探針電阻率測(cè)試儀操作手冊(cè)

應(yīng)用說(shuō)明

覆蓋膜;導(dǎo)電高分子膜，高、低溫電熱膜;隔熱、導(dǎo)電窗膜 導(dǎo)電(屏蔽)布、裝飾膜、裝飾紙;金屬化標(biāo)簽、合金類箔膜;熔煉、燒結(jié)、濺射、涂覆、涂布層，電阻式、電容式觸屏薄膜;電極涂料，其他半導(dǎo)體材料、薄膜材料方阻測(cè)試

二．描述

采用四探針組合雙電測(cè)量方法，液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.高集成電路系統(tǒng)、恒流輸出；選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

涂布層四探針電阻率測(cè)試儀操作手冊(cè)

雙電測(cè)數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響.

功能描述Description：

• 四探針組合雙電測(cè)量方法
• 液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.
• 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.
• 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.
• 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇

參照標(biāo)準(zhǔn)：

1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?

4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?

雙電組合測(cè)試方法：

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。